MEMS是微机电系统(Micro-Electro-Mechanical Systems)的英文缩写,主要包括微型机构、微型传感器、微型执行器和处理电路等部分。MEMS融合多种微细加工技术,并应用现代最新信息技术基础上发展的高科技前沿学科。

相对传统机械,MEMS尺寸更小,最大的也不超过1厘米,甚至只为几微米,它的厚度就更微小。MEMS采用以硅为主的材料,电气性能优良,硅的强度、硬度和杨氏模量相当与铁,密度与铝类似,热传导率接近钼和钨。采用大量集成电路(IC)生产中的成熟技术及工艺 ,进行大批量、低成本生产,大大提高与传统“机械”制造技术性价比。

MEMS是由微传感器、微执行器、信号处理和控制电路、通讯接口和电源等部件组成的一体化的微型器件系统。目标是把获取、处理和执行的信息组成具多功能的微型系统,集成於系统当中,从而提高系统的自动化、智能化和可靠性水平。